富加VB法晶体生长历程
在坩埚下降法（VB法）氧化镓单晶生长这条赛道上，杭州富加镓业科技有限公司平均每隔数月便完成一次尺寸的跨越，远远领跑国内乃至国际VB法氧化镓生长赛道。这条以"快"著称的技术突破曲线，在2026年6月举办的"2026功率半导体器件与集成电路会议（CSPSD 2026）"上又一次得到行业的高度评价:富加镓业凭借氧化镓12英寸晶锭-VB摘得大会组委会颁发的"优秀技术创新产品"奖。
▲ CSPSD 2026"优秀技术创新产品"奖证书
支撑这一速度的，是富加镓业对VB法技术路线的全方位自研能力。从热场设计到温度梯度精密控制，从坩埚材料选型到生长工艺参数迭代，公司自主研发了全自动VB法晶体生长装备，实现了对整个生长过程的精准掌控。正是这套自研装备体系，让富加镓业得以在行业普遍停留于6英寸探索阶段时，率先将VB法氧化镓单晶的尺寸边界推至全球从未触及的12英寸。
▲ CSPSD 2026"优秀技术创新产品"颁奖仪式
相较6英寸，12英寸单片晶圆可制造的芯片数量提升约4倍，生产成本大幅摊薄；更重要的是，12英寸规格与现有成熟硅基集成电路产线完全兼容，下游厂商无需更新设备即可切入氧化镓器件制造，将氧化镓功率器件的产业化进程向前大幅推进。
展会上，富加镓业董事长齐红基研究员在主题报告中以一组数据点明氧化镓的产业价值：其理论击穿电场强度是硅的27倍、碳化硅的3倍，是下一代高压功率器件最具潜力的材料之一。他同时指出，"降成本、提性能"是产业化落地的核心命题，12英寸技术的突破，正是富加镓业给出的答案。
成立于2019年的富加镓业，如今已拥有56项专利，其中14项国际专利授权，是世界氧化镓专利十五强中唯一一家中国企业。获多轮亿元级融资，荣膺2026年杭州"准独角兽企业"称号，并正牵头起草氧化镓领域首个国家标准。数字仍在增长，纪录仍在刷新。驱动这一切的，始终是那句朴素的承诺——"让世界用上好材料"。
产品介绍
氧化镓设备：
公司研制了国际上首台具备“一键长晶”功能的EFG设备，可以满足2-8英寸晶体生长需求，目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可提供设备及配套工艺包。公司自行研制了全自动 VB 晶体生长设备，并在国内率先突破了12英寸单晶生长技术瓶颈，实现了大尺寸 VB 法单晶制备。目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可根据客户需求提供VB设备及工艺包。
氧化镓单晶衬底：
作为中国最早投身氧化镓单晶生长研究的先行者与业界领先的供应商，我们致力于为全球客户提供卓越的氧化镓单晶衬底。我们的产品线覆盖2-8英寸26种常规性氧化镓衬底产品，并能够提供尺寸，电学性能与晶向的定制化方案，满足高质量外延片研发及批量制备需求。
氧化镓外延片：
基于成熟的 MOCVD（金属有机化学气相沉积）与 MBE（分子束外延）技术平台，我们的产品线覆盖 2-6 英寸等15种常规性氧化镓外延片产品，及定制化 MBE 氧化镓外延片产品，为客户提供 “衬底-外延”一体化解决方案。外延层生长过程采用精准的工艺控制体系，可根据客户需求定制外延层厚度、掺杂浓度、组分均匀性等关键参数，能够满足不同功率等级、不同功能类型的器件研发与生产需求。
企业简介
杭州富加镓业科技有限公司
公司成立于2019年12月31日，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法（VB法）及导模法(EFG法)晶体生长装备等，为材料研制提供系统性解决方案，加速超宽禁带氧化镓产业全链路贯通，推进氧化镓材料在功率器件、微波射频器件及光电探测等领域应用。公司在氧化镓领域发展方面取得的系列重要成果已获CCTV、《人民日报》、新华网、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体专题宣传报道。企业荣誉汇总： 2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；2025年获得 ISO9001质量体系认证（编号：20225Q20294R0M）；2024年度杭州市“新雏鹰”企业；在氧化镓领域，正牵头起草氧化镓领域首个国家标准，并承担了国家发改委项目1项，国家工信部项目1项，参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外，获得国际专利授权14项（美国 6 项，日本7项，欧洲1项），国内专利授权42项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（“一键长晶”控制软件）5项。