富加镓业突破性进展——国内首次实现坩埚下降法生长3英寸氧化镓晶体

发布时间:2024-10-30
杭州富加镓业科技有限公司始终坚持产业化导向,继突破导模法(EFG)6英寸导电型、绝缘型衬底生长技术及EFG“一键长晶”装备后,2024年7月,基于模拟仿真技术成功研制了氧化镓坩埚下降法(VB)长晶装备,并实现了3英寸氧化镓单晶生长。

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图1 VB法氧化镓晶锭



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图2 VB法氧化镓晶圆片

VB法生长氧化镓晶体无需使用铱金,大大降低了生长成本;同时,生长过程温度场均匀、温度梯度较小,更易实现大尺寸、高质量氧化镓晶体的生长。此外,VB法生长过程稳定,更适合自动、规模化生产。

杭州富加镓业科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日,是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技〞企业,公司以“让世界用上好材料”为愿景,开展宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作,主要从事氧化镓单晶材料生长、氧化镓衬底及外延片研发、生产和销售工作,产品主要应用于功率器件、微波射频及光电探测等领域。

公司已获得多项荣誉:2022年获得浙江省科技型中小企业;2023年获得国家高新技术企业;2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业;承担了国家发改委氧化镓项目1项,参与了国家科技部、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外,获得国际专利授权12项(美国6项,日本6项),国内专利授权37项,“富加镓业”商标认证注册3项,软件著作权(“一键长晶”控制软件)2项。