年产1万片！国内首条！6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，在杭州富阳开工建设

9月10日，杭州富加镓业科技有限公司6英寸氧化镓单晶及外延片生长线在杭州富阳开工建设。这是国内首条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，与国际同时起步的6英寸单晶生长技术及更加适合量产的外延技术将“换道超车”，助力新型超宽禁带半导体氧化镓产业链高质量快速发展。

据了解，目前国际上仅仅有日本NCT（Novel Crystal Technology, Inc）有6英寸氧化镓量产计划。NCT公司的6英寸氧化镓单晶及外延片生长线，是其国内第一条6英寸氧化镓单晶及外延片生长线。杭州富加镓业是国内目前唯一一家同时具备6英寸单晶生长及外延的公司。该生产线高度集成单晶生长、衬底加工、外延及检测，项目建成后，具备年产1万片6英寸氧化镓单晶及外延片能力。整条产线涉及 “一键长晶”单晶生长设备、多线切割设备、高精度研磨抛光设备、倒角设备、激光加工设备、全自动化晶片清洗设备、高通量外延设备、表面缺陷检测仪、电学性能测试仪等关键设备。面向未来，6英寸的氧化镓单晶及外延片将为下游器件厂商提供稳定可控的高质量氧化镓材料。

图1 6英寸氧化镓单晶衬底及外延片生长线（杭州富阳）

杭州富加镓业科技有限公司成立于 2019年 12 月 31 日，是杭州光学精密机械研究所注册成立的第一家“硬科技〞企业，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，主要从事氧化镓单晶材料生长、氧化镓衬底及外延片研发、生产和销售工作，产品主要应用于功率器件、微波射频及光电探测等领域。

目前，公司已获得多项荣誉：

2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；另外，获得国际专利授权12项（美国6项，日本6项），国内专利授权37项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（晶体生长控制软件）2项。