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富加镓业牵头的第二项氧化镓
国家标准通过立项公示
近日,由杭州富加镓业科技有限公司牵头起草的国家标准《氧化镓外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》完成立项公示。这是富加镓业继牵头起草氧化镓领域第一个国家标准《氧化镓单晶抛光片》之后,牵头起草的第二项氧化镓领域国家标准,进一步彰显了富加镓业以技术创新、标准建设为抓手,引领产业规范化、规模化发展,助力国内超宽禁带半导体产业链自主升级的责任与担当。
国家标准:产业发展的"基准线"
国家标准是由国家标准化管理委员会(SAC)批准发布、在全国范围内统一适用的技术规范。国家标准具有最高的权威性与约束力,是企业生产、质量检验、市场准入、贸易往来的共同技术依据。一项国家标准的诞生,往往意味着一个技术方向已进入规模化、规范化发展阶段,对于引导产业投资方向、保障产品质量、促进国际接轨均具有深远意义。
国标引领:加速氧化镓产业化进程
氧化镓作为第四代半导体的核心材料,理论击穿电场高达8 MV/cm,在高压、高功率器件领域具有突出优势,被视为下一代电力电子技术的重要方向。然而,产业化进程中面临一个共性难题:各机构对材料参数的测试方法不统一,导致数据无法横向比较,上下游企业之间的技术对接成本居高不下,严重制约了产业链协同效率。国家标准的制定,正是破解这一瓶颈的关键抓手——统一的测试方法将使衬底厂、外延厂、器件厂之间的技术语言趋于一致,大幅降低产业链沟通成本,为氧化镓器件的规模化量产奠定坚实基础。

填补外延层测试方法空白,构建全链条标准体系
载流子浓度是氧化镓外延片最核心的电学参数之一,直接决定功率器件的耐压与导通性能。电容-电压法是目前测量半导体外延层载流子浓度分布最精确的方法之一,但氧化镓材料的特殊物性对测试条件和数据处理提出了更严格的规范性要求。本标准的制定,将为氧化镓外延片质量评价提供权威统一的技术依据。

结合此前已立项的《氧化镓单晶抛光片》,富加镓业正同步推进两项国家标准的起草,共同构建覆盖"衬底—外延"全链条的氧化镓材料标准体系。富加镓业将持续深耕氧化镓材料技术,以标准引领产业,秉承"让世界用上好材料"的使命,推动第四代半导体产业高质量发展。
延伸阅读:标准的重要性
在标准体系中,国家标准(GB/T)与团体标准(T/)是两种常见形式,二者在制定主体、适用范围和权威性上存在本质差异,对产业发展的影响也不尽相同。
从制定主体与适用范围看,国家标准由国家标准化管理委员会统一批准发布,在全国范围内具有统一效力,是政府采购、市场准入、司法鉴定等场景的权威依据;团体标准则由学会、协会或产业联盟等社会团体组织制定,适用范围通常局限于该团体成员之间,在更广泛的市场环境中认可度存在一定差异。
从制定周期看,国家标准须历经立项公示、起草、征求意见、技术审查、批准发布等严格程序,全程通常需要2至5年,每一环节均有主管部门把关;团体标准的制定流程相对宽松,周期一般在1至2年,在新兴领域中有时会出现标准质量参差不齐的情况。
从地位看,国家标准是保安全、守底线的“压舱石”,团标则由市场驱动,是快速响应市场的“创新加速器”。国家标准一经发布,即成为全行业共同遵守的技术基准,对统一产业链技术语言、规范市场秩序、推动国际互认均具有重要作用。
正因如此,牵头制定国家标准,不仅意味着企业技术实力在国家层面的认可,更彰显企业在担当使命、服务行业的社会责任感。富加镓业此次牵头起草第二项氧化镓国家标准,正是将氧化镓外延层测试方法推向全行业统一规范的关键一步。
产品介绍
氧化镓设备:
公司研制了国际上首台具备“一键长晶”功能的EFG设备,可以满足2-8英寸晶体生长需求,目前获得国内授权专利6项,国际授权专利4项,可提供设备及配套工艺包。公司自行研制了全自动 VB 晶体生长设备,并在国内率先突破了12英寸单晶生长技术瓶颈,实现了大尺寸 VB 法单晶制备。目前获得国内授权专利6项,国际授权专利4项,可根据客户需求提供VB设备及工艺包。
氧化镓单晶衬底:
作为中国最早投身氧化镓单晶生长研究的先行者与业界领先的供应商,我们致力于为全球客户提供卓越的氧化镓单晶衬底。我们的产品线覆盖2-8英寸26种常规性氧化镓衬底产品,并能够提供尺寸,电学性能与晶向的定制化方案,满足高质量外延片研发及批量制备需求。
氧化镓外延片:
基于成熟的 MOCVD(金属有机化学气相沉积)与 MBE(分子束外延)技术平台,我们的产品线覆盖 2-6 英寸等15种常规性氧化镓外延片产品,及定制化 MBE 氧化镓外延片产品,为客户提供 “衬底-外延”一体化解决方案。外延层生长过程采用精准的工艺控制体系,可根据客户需求定制外延层厚度、掺杂浓度、组分均匀性等关键参数,能够满足不同功率等级、不同功能类型的器件研发与生产需求。
企业简介
杭州富加镓业科技有限公司
公司成立于2019年12月31日,公司以“让世界用上好材料”为愿景,开展超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作,核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD/MBE 外延片、布里奇曼法(VB法)及导模法(EFG法)晶体生长装备等,为材料研制提供系统性解决方案,加速超宽禁带氧化镓产业全链路贯通,推进氧化镓材料在功率器件、微波射频器件及光电探测等领域应用。公司在氧化镓领域发展方面取得的系列重要成果已获CCTV、《人民日报》、新华网、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体专题宣传报道。企业荣誉汇总: 2022年获得浙江省科技型中小企业;2023年获得国家高新技术企业;2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业;2025年获得 ISO9001质量体系认证(编号:20225Q20294R0M);2024年度杭州市“新雏鹰”企业;在氧化镓领域,正牵头起草氧化镓领域首个国家标准,并承担了国家发改委项目1项,国家工信部项目1项,参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外,获得国际专利授权14项(美国 6 项,日本7项,欧洲1项),国内专利授权42项,“富加镓业”商标认证注册3项,软件著作权(“一键长晶”控制软件)5项。
