杭州富加镓业科技有限公司（以下简称富加镓业）在氧化镓晶体生长领域取得重大突破——利用垂直布里奇曼法（VB法）在国内首次成功制备出6英寸氧化镓单晶晶锭，晶体等径高度达30mm，为功率器件所需导电性材料，可满足完整6英寸氧化镓导电型衬底的加工需求。
图1 6英寸VB法氧化镓单晶锭
富加镓业在氧化镓单晶领域展现出强劲的技术迭代能力。2024 年 12 月，率先在国内实现 4 英寸 VB 法氧化镓晶体制备，此次 6 英寸单晶的突破，实现晶体尺寸上的跨越式升级，再次凸显公司在核心装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大关键领域的硬核实力。
迄今为止，富加镓业进行了多轮次2-6英寸VB法氧化镓晶体生长，不断升级装备性能，验证生长装备稳定性。6英寸氧化镓单晶晶锭的研制成功，标志着公司在晶体生长技术上取得重大突破，充分验证了“工艺与装备双轮驱动”战略的前瞻性，这是继2024年5月实现导模法“一键长晶”技术后的又一里程碑（杭州富加镓业科技有限公司率先突破导模法“一键长晶”技术，并荣登央视CCTV1《朝闻天下》栏目）。公司已推出拥有自主知识产权的VB法氧化镓晶体生长设备及配套生长工艺包，加速氧化镓领域产业生态构建，推动氧化镓半导体产业的蓬勃发展。
图2 VB法氧化镓晶体生长装备
未来，富加镓业将继续秉持创新驱动发展和繁荣氧化镓行业的理念，积极联合高校、科研院所及产业链上下游单位，不断提升装备与工艺技术水平，共同推进氧化镓材料的产业化应用，为行业发展贡献更多力量，早日实现“让世界用上好材料”的愿景。
关于我们：
杭州富加镓业科技有限公司成立于 2019 年 12 月 31 日，公司以“让世界用上好材料”为愿景，开展超宽禁带半导体氧化镓材料的产业化工作，核心产品为氧化镓单晶衬底、MOCVD/MBE外延片、布里奇曼法（VB法）及导模法(EFG法)晶体生长装备、衬底研磨抛光装备等，为材料研制提供系统性解决方案，加速超宽禁带氧化镓产业全链路贯通，推进氧化镓材料在功率器件、微波射频器件及光电探测等领域应用。公司在氧化镓领域发展方面取得的系列重要成果已获中央电视台、《人民日报》、新华网、《中国证券报》、澎湃新闻等知名媒体专题宣传报道。
企业荣誉汇总：
2022年获得浙江省科技型中小企业；2023年获得国家高新技术企业；2024年获得杭州市企业高新技术研发中心及浙江省专精特新中小企业；2025年获得ISO9001质量体系认证（编号：20225Q20294R0M）；在氧化镓领域，承担了国家发改委项目1项，国家工信部项目1项，参与了国家自然科学基金委、浙江省、上海市等国家及省部级项目3项。另外，获得国际专利授权12项（美国6项，日本6项），国内专利授权40项，“富加镓业”商标认证注册3项，软件著作权（“一键长晶”控制软件）4项。