晶圆产品参数

掺杂：Sn

导电性：n型

晶面：(001)

双晶摇摆半高宽：≤150”

载流子浓度：≥1×10¹⁸  cm^-3

位错密度：<1×10⁵  cm^-2

目前参考尺寸：2 inch

参考边：[010]方向

加工指标

晶面偏差：<±1°；直径：50.8 mm±0.3 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.02 mm；单面抛光，Ra<0.5 nm

产品外形示意图