4英寸氧化镓衬底片
100面
生产厂家：杭州富加镓业科技有限公司
销售人员：郭晓梦
电 话：13164023887
邮 箱：gxm@wonder-sino.com
晶圆产品参数
掺杂：Sn
导电性：n
晶面：(100)
双晶摇摆半高宽：≤250”
载流子浓度：≥1×1018 cm-3
位错密度：<1×105 cm-2
目前参考尺寸：4 inch
参考边：[010]方向
加工指标：晶面偏差：<±1°；直径：100.0 mm±0.5 mm；厚 度： 0.65 mm ± 0.02 mm；单面抛光，Ra<1 nm
产品外形示意图
