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氧化镓单晶产品系列


晶面尺寸规格技术指标样品参考
(010)10mm×10mm×1mm

FWHM<150

单面抛光或双面抛光RMS<0.5nm

位错密度:5×104/cm2

晶面偏差<1°
10mm×10mm×0.5mm
5mm×5mm×1mm
5mm×5mm×0.5mm
(100)和(001)
10mm×10mm×1mm

FWHM<100

单面抛光或双面抛光RMS<0.5nm

位错密度:5×104/cm2

晶面偏差<30

电阻率调控:5×10-3 ~ 109Ω·cm
10mm×10mm×0.5mm
5mm×5mm×1mm
5mm×5mm×0.5mm