氧化镓单晶产品系列
| 晶面 | 尺寸规格 | 技术指标 | 样品参考图 |
| (010) | 10mm×10mm×1mm | FWHM<150” 单面抛光或双面抛光RMS<0.5nm 位错密度：5×104/cm2 晶面偏差<1° |  |
| 10mm×10mm×0.5mm | |||
| 5mm×5mm×1mm | |||
| 5mm×5mm×0.5mm | |||
| （100）和（001） | 10mm×10mm×1mm | FWHM<100” 单面抛光或双面抛光RMS<0.5nm 位错密度：5×104/cm2 晶面偏差<30’ 电阻率调控：5×10-3 ~ 109Ω·cm |  |
| 10mm×10mm×0.5mm | |||
| 5mm×5mm×1mm | |||
| 5mm×5mm×0.5mm |
浙公网安备33018302001209号